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汉钟精机：真空泵可配套应用于半导体多个制程

时间: 2025-05-01 05:56:00 | 作者: 云开体育平台app

金融界3月6日音讯，有投入资金的人在互动渠道向汉钟精机发问：董秘你好，一手音讯称荷兰ASML公司将中止为国内的光刻机供给维修服务，作为具有半导体真空泵技能的公司之一，请问贵司的半导体真空泵在功用、稳定性和耐用性方面是否能代替ASML光刻机里边的真空泵部件？

公司答复表明：公司真空泵可配套应用于半导体工业中拉晶、分散、堆积、刻蚀、光刻、薄膜等制程。现在半导体真空泵营收还比较小，对公司全体成绩影响不大。